声表面波(Surface Acoustic Wave,简写SAW)在十九世纪八十年代被英国物理学家瑞利发现,随着声表面波技术的发展,在二十世纪八十年代,人们开始利用声表面波器件研制、开发新型传感器,声表面波(SAW)加速度传感器就是近年来许多国家重点研究的一种高性能、低成本的声表面波传感器。作为一种灵敏度极高的惯性传感器,深入研究SAW加速度传感器的传感机理及其检测技术,不仅具有理论意义,而且具有工程实用价值。本文分析了现有悬臂梁式SAW加速度传感器存在的一些问题,研究了针对它们的实际解决方案和工程设计原则。本论文在悬臂梁式SAW加速度传感器研究方面取得的具体成果有:1.完成悬臂梁式SAW加速度传感器的系统设计,提高了SAW加速度传感器的敏感性、准确性及其工作性能。2.对SAW加速度传感器差动方案进行了改进,不仅进一步抑制了温度干扰因素对加速度传感器的影响,而且降低了其加工制作的难度。3.研究了阶跃加速度惯性力激励下,悬臂梁式SAW加速度传感器差频输出的动态响应特征,改变了目前SAW加速度传感器理论研究中缺乏动荷载激励研究的现状,丰富了悬臂梁式SAW加速度传感器的研究理论。4.用SAW滤波器为SAW加速度传感器增添了加速度方向判断功能,使SAW加速度传感器可以通过电容器静电力保护悬臂梁和实时调整量程。5.设计了双栅MOSFET混频电路,使用Pspice对其进行了仿真研究,仿真的结果和理论符合的很好,并在仿真分析的基础上提出滤波和测频方案。