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1998年,Ebbesen研究组首次观察到了金属薄膜上亚波长孔阵列的透射增强现象(extraordinary optical transmission, EOT),之后众多研究人员就开始探寻起背后的机理。目前解释EOT现象主要有表面等离子体计划激元(SPP)和复合衍射瞬时波(CDEW)两个理论模型,它们各自独立,之间没有明确的联系。SPP模型的主要结论是EOT的透射峰应该出现在λSPP出现的位置,并且认为透射峰的位置只与孔阵周期、金属和介质的介电常数有关,而CDEW模型的一个重要结论是透射谷的位置应该出现在Wood’s异常的位置,认为透射谷的位置只与孔阵的周期和介质的介电常数有关。这两个模型虽然在特定的条件下能够解释EOT的部分现象,但是因为它们都来自对一维模型的推倒,而且采用了过多的假设,所以用这两个模型解释实际二维孔阵的透射现象时偏差较大。本文利用有全三维限元时域差分方法来仿真分析二维孔阵列透射性质,采用最少的假设条件,只对材料的介电常数做出定义。为了验证仿真方法的正确性与精确性,本文首先利用磁控溅射技术在石英衬底上制备了致密平整的金薄膜,利用FIB技术在金薄膜上制备了亚波长小孔阵列,并自行设计了显微光谱系统,测量这种结构的透射性质。通过对比仿真与实验的结果,证实了仿真的可行性之后,本文利用仿真分析结构参数和材料参数对EOT的影响,以探讨EOT现象背后的机理,发现超透射现象是SPP和CDEW共同作用的结果,要将两种电磁波结合在一起才能解释超透射现,SPP波长对应与透射曲线中透射谷的位置,这种谷的位置只与金属和介质的材料以及孔阵的周期有关。而紧随对应SPP波长的透射谷,会出现透射峰。通过上述仿真和实验研究,加深了对EOT现象的认识,弥补了现在对二维孔阵研究的缺失及理论分析的不足。这种方法有能为EOT相关器件提供更准确的预测和优化依据。