激光圆度仪研究

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圆度误差是指在垂直于回转轴线截面上的轮廓对理想圆的变动量。圆度误差可以用多种方法测量,如V型块法、气动法、光干涉法等。其中以精密主轴回转式圆度仪精度高、测量方便、测量速度快,因而应用最为广泛。圆度仪按主轴的布局可分为转台式和转轴式两种。然而随着科技的发展,精度要求越来越高,接触式的测量方式已不能满足要求,于是以非接触方式测量的光电检测技术以其高速、高精度、自动化、智能化的优点广泛应用于各个领域。而圆度误差的非接触测量也成为一个必然趋势。本文论述的激光圆度仪即是采用非接触测量的仪器。主要论述了转台式激光圆度仪的总体设计,将圆度仪的工作原理、机械结构和设计要求作一定的阐述并对此圆度仪的空气静压轴系、精密立柱材料的选择、结构设计以及电机的选择作了进一步的分析,尤其在圆度仪的激光测头——非接触激光测头的工作原理、构成原理、结构形式以及误差分析等作了更为全面和深刻的讨论。
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