【摘 要】
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随着物联网科技的不断进步,传感器作为物联网科技的终端设备在物联网建设中起到越来越重要的作用。当中,气敏传感器研究在环境监测等领域的物联网建设中更有着举足轻重的意义
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随着物联网科技的不断进步,传感器作为物联网科技的终端设备在物联网建设中起到越来越重要的作用。当中,气敏传感器研究在环境监测等领域的物联网建设中更有着举足轻重的意义。半导体金属氧化物纳米材料因具有各向异性,拥有优异的物理化学性能,引起科研工作者的广泛关注。关于金属氧化物纳米材料的气敏性能的研究也成为相关领域中的热点。本文采用水热法制备氧化钨纳米片并对其进行表征,得到直径约250纳米的薄片状氧化钨纳米材料。制备出相应气敏传感器件,对其气敏性能进行测试,得到关于氧化钨纳米片的相关测试结果,发现其在加热状态下对二氧化氮气体有较高的灵敏度。采用水热法制备出大小约80纳米的氧化镍纳米薄片,与已有的氧化钨纳米片在高温下复合,得到氧化钨氧化镍p-n异质结构复合材料。之后对氧化钨、氧化镍以及二者的复合材料进行系统的气敏测试。测试结果表明,复合材料有优于两种单体材料的气敏性能,且对被测的近十种气体有高选择性。复合材料仅在室温下对二氧化氮气体有比较突出的响应,对浓度为30ppm的二氧化氮气体的灵敏度达到4.8。随着二氧化氮气体浓度的增加,复合材料的灵敏度响应呈现近似线性的增长。最后综合分析三种材料的表征图像和气敏测试结果。利用材料表面的化学吸附,半导体金属氧化物表面的氧化还原反应理论以及pn结的假设,对现有的实验结果作出最为合理解释。然而,对于pn结的理论猜想,还缺少进一步的实验佐证,做出的解释也并不完善。综上,本文的研究在实验思路和现象解释两方面,都为今后相关方向的研究开辟了新的思路。
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