【摘 要】
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在半导体塑封工艺中,会产生一种称之为外来物(Foreign Material, FM)的不良品。从外观上看,这种不良品的特征是塑封体表面或内部附着有其它东西。它不仅会造成塑封体外观失效、字
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在半导体塑封工艺中,会产生一种称之为外来物(Foreign Material, FM)的不良品。从外观上看,这种不良品的特征是塑封体表面或内部附着有其它东西。它不仅会造成塑封体外观失效、字模不清,严重的还可以造成塑封成型不完整,甚至电路短路现象。对于公司而言,如果不良品流入顾客手中,不仅会对顾客产品造成不可预期的影响,而且公司也将收到顾客抱怨,影响公司产品质量等级。这种不良品的产生随着绿色塑封料的使用而变得越来越频繁,所以如何在不影响生产任务的前提下,降低外来物的百万分率(Part Per Million, PPM)成为一个重要的急需解决的技术难题。本文通过对外来物样品的分析与对绿色塑封料的深入研究,找到SOT23产生外来物的几个重要原因,不仅与机器及模具的设计有关,而且与塑封料的成分配方密切相关。针对TOWA公司自动模机及其模具的特点,分析外来物产生的机理;通过实验设计(Design of Experiment,DOE)找到其产生的几个重要影响因子,并据此通过改进模具、改进注塑头以及改进真空吸尘系统;同时要求塑封料厂商改善其塑封料配方后,有效的解决了飞边的问题。在收集大量的塑封体表面显微观测数据、公司内部测试报告和顾客抱怨等数据后,找到了有效的解决方案。成功的将外来物的废品率由最初的35PPM降低到现在的3PPM,不仅提高了产品质量,同时也提高了生产效率。
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