【摘 要】
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过去的几十年，随着集成电路技术的成熟和发展，产生了一种新型的微机电系统(MEMS)。其中，硅微型测量单元是MEMS技术的一个重要应用领域，而硅微型机械陀螺仪是构成这种测量单元的核
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过去的几十年，随着集成电路技术的成熟和发展，产生了一种新型的微机电系统(MEMS)。其中，硅微型测量单元是MEMS技术的一个重要应用领域，而硅微型机械陀螺仪是构成这种测量单元的核心器件，它具有体积小、重量轻、成本低、动态特性好、可靠性高等独特优点，有着广阔的应用前景。
本文介绍了以我们自行设计的一种硅微型两自由度陀螺仪为研究对象的，利用以DSP为核心的数字线路结合模拟线路来实现整个测控系统的完整方案，主要研究内容包括以下几个方面：
1.分析了硅微型两自由度陀螺仪的动力学特性，概括了陀螺仪驱动和敏感规律。
2.结合两自由度硅微陀螺仪的特点，在驱动上讨论了公共极板输入法的驱动方式，在检测上利用敏感模态二倍频的方式来进行敏感信号的检测，另外结合高速数字线路板的设计技术设计出了以DSP为核心的数字线路。
3.讨论了硅微陀螺仪驱动和检测的数字实现方法，利用DDS的原理通过DSP的PWM来产生硅微陀螺所需的驱动信号，并且研究出了用DSP处理硅微陀螺仪敏感信号的数字信号处理算法。
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