采用射频容性耦合、感性耦合以及施加射频偏压的感性耦合氧等离子体对聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)试样进行表面改性。等离子体改性前后PET试样表面形貌，化学官能团和亲水性分别由原子力显微镜(AFM)，衰减全反射-Fourier变换红外光谱(ATR-FTIR)和动态接触角表征。经200 W射频容性耦合、200 W射频感性耦合，以及施加100 W射频偏压的200 W射频感性耦合等离子体处理300 s后，PET试样表面粗糙度(Ra)由原始试样的0.443 nm分别增至2.779，0.862，4.062 nm。三种不同耦合方式射频等离子体处理40 s后，PET试样表面表征含氧极性官能团含量的-OH／C-H强度比，由原始试样的0.325分别增至0.365，0.343，0.351，处理300 s后，则分别为0.340，0.343，0.337。三种不同耦合方式射频等离子体改性PET试样，最佳表面亲水性分别对应于动态接触角测量的前进角53.4，50.0，37.0°和后退角39.5，37.2，24.4°。射频容性耦合等离子体改性PET试样，在25℃和-10℃条件下存储12天，前进角增加了约12和7°，此后直至30天保持稳定；后退角则不受存储温度和时间影响。三种不同耦合方式射频等离子体改性PET试样，表面含氧极性官能团含量决定了前进角的大小，而后退角主要受表面形貌的影响。