高功率固体激光装置对所使用光学元件的中高频段小尺度制造误差提出了要求,因为这种中高频分量扰动将可能严重影响整个光学系统的性能。本文针对我国ICF激光驱动器的发展要求,围绕评价参数PSD,开展了高功率激光装置中光学元件波前干涉检测技术的系统研究。深入地分析了PSD的定义和计算方法,针对目前国际上对PSD的研究,总结概括了四种常用算法,并且结合实验,分析了四种算法的优缺点。从PSD函数反计算面形高度图,提出了圆形孔径的径向平均方位角PSD算法,分析了此种算法对光学元件加工和分析的作用。最后,介绍了中频波前均方根的概念,减弱傅里叶变换中的Gibbs噪声影响的方法,以及误差函数滤波器的选取。简述干涉仪系统传递函数的概念和测试原理,制定传函实验方案,定量测试不同口径干涉仪的系统传递函数。结果表明小口径的干涉仪拥有更高的系统传函,最高可测频率可以达到1.5mm-1。最后分析了台阶板测量干涉仪传递函数中台阶板的实际高度、台阶面倾斜和干涉腔的距离对传递函数的影响。结合实验对PSD不同算法进行了分析,计算机模拟径向平均方位角算法,归纳分类高功率激光装置中使用的光学元件,实际测量计算不同类型光学元件的PSD指标,并且与NIF的指标相对比,拟定我国高功率激光装置中光学元件PSD检测方案。