矢量网络分析仪是现代微波测量领域中必不可少的重要的测量设备，由于其内部使用功分器或耦合器等微波的缘由，因此在仪器使用前要对其进行校准，校准方法决定了矢量网络分析仪测量结果的精度，如何改进校准方法是当前研究的热点。对于二端口矢量网络分析仪而言，目前国内外的研究主要集中在误差模型的建立和误差项的修正上，结合校准件便有了常用的TRL法、SOLT法、TSD等校准方法；此外，校准过程中使用的校准件的好坏直接决定着矢量网络分析仪的测量精度，因为在实际的应用中，校准套件是一组非常精密的同轴连接线，因此被用作理想的传输和反射标准，矢量网络分析仪正是用这一组标准的散射参数对测量结果进行修正。在测量过程中，校准件难免会产生磨损或损坏，从而影响测量结果的精度和准确度，因此，如何根据校准件的真实散射参数来对测量结果进行修正，以及对于已校准过的矢量网络分析仪的性能测试和评估显得尤为重要。本文主要目的是研究一种高精度的校准算法，基于此算法不仅可以对被测件的散射参数直接进行修正，进一步的，如果将此校准算法移植于PC平台或者独立于矢量网络分析仪的检测平台，就可以完成对已校准过的矢量网络分析仪的性能测试和评估，这在工程应用中具有非常重要的意义。作为一个性能检测级别的校准算法，我们需要更高精度的校准算法和校准标准件的数据源。本文主要研究了现有的矢量网络分析仪的误差模型，并在12项误差模型的基础上，结合SOLT校准算法和TRL*校准算法，对传统的校准算法进行了推导和实验验证，并在此基础上推导出更为精确的二端口校准算法；同时建立校准件的模型，从而根据真实的校准件的参数来推导出被测件的测量值与真值之间的关系；实验验证了本论文所研究的新算法的有效性和精确性。