电场活化聚合物(DE)平面弯曲致动器设计

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【摘要】

：

微致动器作为微电子机械的核心驱动元件,一直都是MEMS研究的热点和突破点,并在一定程度上成为衡量MEMS发展水平的重要标志。电场活化聚合物是电子型电活性聚合物中的一类膜状的绝缘塑料,具有柔软、富有弹性、重量轻、类似动物的肌肉诸多特点,特别是它在直流电场作用下会产生大幅度的应变,其变形率远大于压电陶瓷等传统的电致伸缩材料,驱动效率高,抗振动性能好,这就使得这类材料具备了作为微型机械中电致动器(Act

【作者】

：

刘亚东

【机构】

：

合肥工业大学

【发表日期】

：

2009年04期

【关键词】

：

微电子机械系统电场活化聚合物平面弯曲致动器奥格登本构模型圆柱螺旋弹簧横向弯曲刚度及弯曲变形计算

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