为了进一步探索电喷雾离子源产生离子的过程中各个因素对电喷雾离子化的具体影响和电喷雾离子源产生离子后其在质谱仪小孔区域的分布,本课题主要进行了两方面的研究。首先,我们自行搭建了电喷雾离子源的测试平台,进行了一些电喷雾方面的测试。然后我们进行了离子检测电极的工艺研究,使用MEMS方法制成了具有双层结构的离子检测电极。本文第一章首先介绍了电喷雾和质谱技术各自的发展以及它们之间的联用,然后介绍了电喷雾离子源至今的发展变化和电喷雾离子化的一些理论,最后介绍了一些使用离子检测电极检测离子分布的方法和相应的离子检测电极的结构。第二章我们使用自行搭建的电喷雾检测平台进行了电喷雾测试,首先观察了泰勒锥和羽状喷雾形状,然后在不同的电压下观察不同的电喷雾模式,之后又分别研究了电压、距离和流量对电喷雾的具体影响。第三章我们介绍了离子检测电极的设计思想和制作工艺,其中离子检测电极具有96条线距线宽均为5μm的金属导线,这些导线分布在1cm×1cm的面积内,该结构具有两层,第一层为100nm厚的铜电极金属层,第二层为正胶AZ701构成的带有十字小孔阵列的绝缘层,两层结构是使用MEMS工艺与剥离工艺经过两次光刻与一次剥离在硅基底上制成的。通过本论文的研究,首先我们掌握了电喷雾离子化中电压,距离和流量等一些因素对电喷雾离子化过程的影响,对电喷雾基础特性有了全面的认识；其次我们获得了使用MEMS工艺和剥离技术制作离子检测电极的工艺参数和经验,为后续的整个离子探测器装置的研发打下了坚实的基础。