超薄过渡金属硫化物气敏光敏传感器件研究

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超薄过渡金属硫化物,也可以表示为二维过渡金属硫化物(2D-TMDCs),具有与石墨烯类似的层状结构,其层内由两层硫族原子夹持一层过渡金属原子,以共价键的形式构成稳定结构,层间依靠范德瓦耳斯力连接。二维TMDCs具有良好的光学、电学和机械性能,在新型传感器领域具有潜在的应用前景。硫化钨(WS_2)薄膜作为TMDCs中的一种,具有与可见光匹配的禁带宽度、大的比表面积和良好的柔性,在光探测器、气体传感器及柔性器件中有显著优势。考虑到结晶特性对器件性能有重要影响,本文制备了结晶性不同的WS_2薄膜,并研究其
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