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国内外在对微机械的几何量进行检测时,由于微机械具有结构尺寸微小而且承载能力也很微小的特点,不便于安装用于几何量检测的传感器,因此,微机械的几何量检测只能采用非接触测量。而现有的测量方法主要用于微机械的三维形貌和三维尺寸静态测量、轮廓运动测量和系统动态性能测量,检测到的信息根本无法精确描述微机械(如:微机械运动平台)的位姿,而测量是控制的基础,因此也就无法对它进行运动精度的检测和评价。针对上述情况,本文提出了一种测量微工作台位姿的方法,该方法基于双目视觉的原理,得到了微工作台在三维空间的位置和姿态,进