【摘 要】
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本论文主要介绍了X波段低相移六位数字衰减器MMIC的原理电路的设计、版图设计以及仿真优化的结果。文中深入探讨了基本衰减结构的工作原理，并介绍了微波单片集成电路中基本元
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本论文主要介绍了X波段低相移六位数字衰减器MMIC的原理电路的设计、版图设计以及仿真优化的结果。文中深入探讨了基本衰减结构的工作原理，并介绍了微波单片集成电路中基本元件模型，根据不同的衰减量要求设计出了合适的衰减位的拓扑结构，在尽可能小的尺寸上实现了高精确度、低相移的要求。该MMIC六位数字衰减器的工作频段为8.5—10.5GHz，设计软件采用了ADS2004A系统。选择合适的衰减拓扑结构后，根据衰减量要求计算出结构中电阻的初值，针对衰减精确度、插入损耗、相对相移和输入输出驻波比一同进行优化，输入输出均匹配到50Ω，待每位设计达到要求，再把六位级联进行总体优化。最后实现的X波段单片六位数字衰减器在工作频带内衰减范围为31.5dB、衰减步进为0.5dB，具有高的衰减精确度(±0.2dB)、小的插入损耗(≤4.5dB)、低相移(≤20°)和较好的输入输出驻波比(≤1.4)等优良的特性，芯片尺寸仅为1.55mm×1.20mm×0.1mm，符合设计指标要求。
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