通信技术的发展形成了今天多种模式移动通信系统共存的局面，在此情况下，研究出可以同时支持多种无线接入方式的移动终端是非常有意义的。多模移动终端系统共享硬件时需要RF开关，而基于MEMS技术的RF开关在性能上的优势使其成为了未来实现高性能多模终端的首选。本文对应用于多模移动终端射频前端的RF MEMS开关进行了深入的探讨，介绍了基于MEMS技术的射频开关的背景知识，包括MEMS技术的相关知识，RF MEMS开关的原理、功能、性能参数。根据研究发现RF MEMS开关高功耗、响应时间长的缺点是阻碍其最终在移动终端系统中大规模商用的主要瓶颈，本文的研究将围绕这两个主要性能参数的优化展开。本文根据多模移动终端射频前端的特点确定了开关的基本架构，对RF MEMS开关进行了较为系统的理论计算分析，着重分析了影响驱动电压、隔离度、插入损耗和稳定性的主要因素，然后对RF MEMS开关进行了初步的优化设计。本文使用MEMS的CAD软件CoventorWare对设计的RF MEMS开关进行3D建模仿真，并且根据仿真结果不断优化设计，最终建立了低功耗、快速响应的RF MEMS开关模型。在完成了单个RF MEMS模型之后，完成了应用于移动终端的SP5T开关网络的整体设计。