MOCVD设备作为LED产业链上游的重要设备之一,国内研发起步较晚,在其原位监测系统方面尤其短缺,本文以MOCVD原位监测系统为研究对象,旨在设计出一套可用于南昌大学自主研发的大型MOCVD设备的原位监测系统,通过硬件设计及软件开发,力图为外延片生长过程的观测,原位监测系统的思路拓展提供参照。本文主要工作内容包括硬件设计及软件开发。硬件设计中,通过多种芯片对比,选用DSP为SOC系统核心,完成局部电路设计及模块设计。继而对比串口通信,以太网通信及无线通信三种通信方式,选用合理方案。之后根据设备实际需求,使用程控放大器对微弱温度信号放大并整波,通过小波变换的滤波方式对信号的强噪声进行处理。加以整合后完成硬件部分的设计工作。软件开发主要从软件的整体结构,通信协议设计,数据库模块及数据处理模块展开工作。通信协议基于TCP协议及RS232通信协议分别进行改写,根据MOCVD数据传输特点,减少部分控制字,提高有用信号占比,提升传输效率。数据库模块对比了MSSQL,Fire Bird,ACCESS三种不同数据库,基于数据库处理速度及数据库兼容性选用ACCESS作为软件数据库,并有针对性的设计数据表结构。数据处理模块完成了从下位机上传的原始数据处理为可用的实际数据,数据筛选,可视化处理及数据压缩的工作。在完成以上工作后通过软件整体设计,建立可视化界面,完成可用于实际生产的MOCVD原位监测系统上位机软件。通过以上工作,完成原位监测系统样机并进行整体调试,调试结果良好,通信及数据传输稳定,速率满足工艺要求,上位机软件使用方便,数据图像清晰,监测效果良好。可以满足MOCVD设备生产应用中的需求。通过本文工作,精简了监控设备,降低MOCVD设备成本,优化数据处理过程,提升外延片生长过程的监控效率,给外延片生长工艺的优化提供了数据支持,为南昌大学自主研发的大型生产型MOCVD设备后续的优化设计提供参考。