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TC4钛合金上制备C轴取向AlN薄膜研究

来源 :电子科技大学 | 被引量 : 3次 | 上传用户：madywu

【作 者】

：

王瑜 

【出 处】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2015年01期

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