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光纤马赫-曾德尔(M-Z)干涉仪作为最重要的光纤传感器件之一,在光传感领域正发挥着愈来愈重要的作用。近年来,随着制作光纤传感器的技术不断进步,人们对新型光纤传感器的要求不断提高,并向着高灵敏度、强适应性、结构灵巧、制作简便等高标准要求发展。其中,S型锥M-Z干涉仪以其结构精巧、折射率和横向应力响应灵敏度高等优点,在众多光纤传感器中脱颖而出,成为人们关注的重点,并在近期取得了一些令人感兴趣的研究成果。然而,如何实现光纤M-Z干涉的多参量传感测量,一直是其推向实用化的难点。 本文针对目前光纤M-Z干涉仪的研究现状进行了总结,对S型锥的理论模型、结构设计、实验制作、光谱性质以及传感特性进行了较为系统的研究。一方面,设计并制作了由S型锥分别与长周期光纤光栅(LPFG)和光纤布喇格光栅(FBG)组合的两种新型光纤M-Z传感器,实现了温度-折射率和温度-应力的双参量测量。另一方面,光子带隙光纤(PBGF)的出现,极大地推动了光纤在传感领域的应用,利用拉锥技术可改变PBGF的导光特性,通过控制锥形结构参数能灵活控制光纤传导模式,由此本文设计并制作出基于全固光子带隙光纤(AS-PBGF)的M-Z干涉仪,并进行了温度传感研究。本文主要研究工作及其成果如下: 1.基于光束传播法(BPM),模拟分析了S型光纤M-Z光线传输过程及不同结构参数对其干涉传输谱特性的影响。研究表明:S型锥的长度、错位量、锥腰直径等参数均会不同程度地影响干涉谱的性质,如插入损耗、自由光谱范围和条纹对比度等,实际应用中可视具体情况选择合适的S型锥参数制作干涉仪。 2.实验制作出一种基于S型锥与LPFG组合的新型M-Z干涉仪传感器,实现了折射率与温度双参量同时测量。该传感器具有结构简单、造价低廉、测量灵敏度高等优点;其中,S型锥的折射率灵敏度达311.48nm/RIU,温度灵敏度为12.87pm/℃;LPFG的折射率传感响应与S型锥相反,其灵敏度为-52.57nm/RIU,温度灵敏度为45.87pm/℃。上述实验结果与理论分析相符。 3.实验制作一种基于S型锥M-Z干涉仪内嵌FBG传感器,实现了应力与温度双参量同时测量。该传感器具有结构灵巧、造价低廉、测量灵敏度和测量精度高等优点;其中,S型锥的应力灵敏度达-48.56842nm/N,温度灵敏度为14.71pm/℃; FBG的折射率传感响应与S型锥相反,其应力灵敏度为1.30588nm/N,温度灵敏度为10.13pm/℃。实验测量结果与理论计算相符。 4.实验制作了一种新型基于AS-PBGF的S型锥M-Z干涉仪,理论研究了其干涉机理,并进行了温度和折射率的传感实验。研究表明:这种新型S型锥M-Z干涉仪具有优良的温度特性,与单模光纤拉制的S型锥干涉仪相比可提高5倍;与其他纯石英光纤温度传感器相比,则更具温度传感优势,其应用潜力巨大。