随着新材料需求的增加，特别是对耐磨、耐热等要求的不断提高，等离子体加工在材料表面处理领域得到广泛应用。这对工艺加工中使用的电源提出更高的要求，提高电源的抗干扰和负载适应能力成为主要的研究方向。　　首先介绍等离子体负载的电路模型，用频域法设计电流控制器，并对比双线性变换和零极点匹配的离散化方法。在分析电弧放电所带来的负载扰动问题的基础上，将输出电压前馈引入电流闭环中，从降低变换器等效导纳的角度，进行电压前馈函数的推导，并分析负载模型参数对前馈补偿函数的影响，对比引入电压前馈控制前后负载扰动的噪声衰减情况。在磁控溅射电源实验平台上，验证了基于输出电压前馈的恒流控制策略，结果表明其能有效抑制等离子体负载突变对恒流输出的扰动，改善了恒流控制系统的动态响应性能。　　为解决启辉瞬间的PI控制饱和问题，采用空载恒压、带载恒流的切换控制方案。利用改进的滞环方式实现不同给定电压下的空载电压控制，对比PI控制和电压电流环切换控制下空载到带载的响应曲线，由于切换控制不需要PI退饱和时间，提高了突然加载瞬的动态特性。同时，针对打弧的过电流问题，给出了一种“打嗝”保护方案，并进行仿真和实验验证。　　最后，研究了全桥变换器在峰值电流控制、带恒流源负载时的分叉以及混沌等非线性行为。建立系统的离散迭代模型，通过仿真手段研究不同负载电流下的运动轨迹，观察到存在的次谐波振荡以及n型的低频振荡现象。通过FFT分析振荡频率，并利用参数共振微扰和时间延迟反馈两种方法对振荡现象进行控制。