随着微机电系统的快速发展,对微小型真空泵的需求越来越大。目前报道的微型真空泵尚无法达到例如微型质谱等微小型仪器的所需的高真空度。基于扩散泵与射流泵的工作原理,本文对真空泵的微小化做了探索性的研究。通过计算流体力学对真空泵的结构参数进行了优化；通过电火花加工和扩散焊等精密机械加工技术制备了不锈钢材料的小型射流式真空泵；设计了微小型真空泵的实验检测装置,以水蒸汽、扩散泵油蒸汽及氩气作为工质对小型真空泵的性能进行了测试。实验结果表明,在以氩气为工质时获得了最高9000Pa的差压。设计了单级硅基材料的微型射流泵的结构尺寸、加工工艺以及测试装置系统,为将来微型射流泵的加工与测试提供了一定的探索基础。模拟和实验结果表明,对于微小型射流式真空泵,喷嘴出口速度随着喷嘴的渐扩角增大而增大,增幅度在渐扩角达到45°后趋缓；真空泵壁面到喷嘴距离对出口蒸汽速度场的分布有着重要的影响；工作介质对微型射流式真空泵抽气效果影响显著。以上工作对真空泵的微小化具有重要的意义。