【摘 要】
:
氧化铟锡(ITO)薄膜作为硅基异质结太阳电池(HJT)的窗口层,起着光生载流子的收集、横向运输以及减反射层的功能。ITO薄膜的光电性能是影响HJT太阳电池输出特性的关键因素之一,但ITO薄膜光学性能和电学性能之间相互对立的内在矛盾严重影响了HJT太阳电池的转化效率。本文研究了靶材成分、基体温度、氧含量、氢含量、压强、总流量参数以及退火处理方式对ITO薄膜光电性能的影响。由于a-Si:H薄膜特性对温
【基金项目】
:
科技部国家重点研发计划(2018YFB1500403)
论文部分内容阅读
氧化铟锡(ITO)薄膜作为硅基异质结太阳电池(HJT)的窗口层,起着光生载流子的收集、横向运输以及减反射层的功能。ITO薄膜的光电性能是影响HJT太阳电池输出特性的关键因素之一,但ITO薄膜光学性能和电学性能之间相互对立的内在矛盾严重影响了HJT太阳电池的转化效率。本文研究了靶材成分、基体温度、氧含量、氢含量、压强、总流量参数以及退火处理方式对ITO薄膜光电性能的影响。由于a-Si:H薄膜特性对温度、离子轰击以及光照辐射的敏感性,本文研究了直流磁控溅射不同镀膜参数对a-Si:H/c-Si界面钝化效果的影响,探索在不同参数下制备的ITO薄膜对HJT太阳电池溅射损伤的影响。有如下结论:(1)ITO(In2O3:Sn O2=97:3wt%)的透过在可见光波段(380nm-780nm)要明显高于ITO(In2O3:Sn O2=90:10wt%)的透过。在电学性能方面,当氧含量小于2%时,两种靶材制备的ITO薄膜在电阻率上基本保持一致,当氧含量大于3%时,ITO(In2O3:Sn O2=97:3wt%)的电阻率会急剧增加。(2)在直流磁控溅射中,基体温度、氧含量、氢含量、压强、总流量参数对ITO薄膜光电性能的影响为,当基体温度为200℃时,薄膜有着更好的透过率和低电阻率,且薄膜均匀性更好。当氧含量为2%时、氢含量为0%时,薄膜的光电性能最优,透过率可以达到90%以上,电阻率可以降低至4.011×10-4Ω·cm。当气压小于0.7Pa、总流量小于200sccm时,透过较高、电阻率较低。升高气压和总流量都会造成ITO薄膜的透过率下降,电阻率升高。(3)通过对镀ITO前后的少子寿命下降差值进行归一化处理,不同靶材成分、基体温度、氢含量对ITO与非晶硅界面的溅射损伤基本一致,少子寿命下降差值平均值维持在2000-3000us左右。当氧含量过高时,高能负氧离子会对非晶硅造成破坏,使溅射损伤增加。(4)将ITO薄膜使用烘箱退火的效果要好于热台退火,ITO薄膜随着退火温度的升高、退火时间的延长其电学性能逐渐下降,但光学性能提升。
其他文献
关德栋教授是我国著名俗文学专家,是20世纪三四十年代以郑振铎、赵景深为代表的“俗文学”学派的重要成员,其长达六十余年的学术生涯见证了中国俗文学研究的起承转合。他的俗文学研究始于佛教通俗文学研究,在敦煌俗文学、明清时调民歌、说唱文学等研究领域取得了突出成就。他治学严谨,视野开阔,注重对俗文学文献的搜集、整理,提倡跨地域、跨学科的研究方法,往往能提出新的学术见解。关德栋为中国俗文学研究做出了突出贡献,
<正>引言宜城市属地质灾害中易发区,以崩塌、滑坡等斜坡类灾害较为多见。近年来随着城市建设发展,该区地质灾害进入又一个高发期,严重威胁人民群众生命财产安全,制约了城市经济社会发展。本文针对宜城市地质灾害现状、历史灾情、综合减灾能力等方面进行总结,分析了宜城市地质灾害防治工作面临的挑战,
<正>10月18日,2021全国地质灾害隐患点+风险区双控试点工作现场会在杭州市临安区召开。自然资源部地质勘查管理司司长于海峰、中国地质调查局水环部主任邢丽霞到会并讲话,自然资源部地质勘查管理司副司长熊自力主持会议,自然资源部地质灾害技术指导中心副主任石菊松出席会议。自然资源部地质勘查管理司、中国地质调查局水环部有关负责同志,中国自然资源经济研究院、
<正>2021年入汛以来,降雨量较常年偏多,地质环境条件先天不足,大量村寨依山而建、安全风险突出……种种不利因素的叠加,不断加大了贵州的防灾避险难度。在这种背景下,全省各级各部门坚持“人民至上,生命至上”理念,自然资源系统结合实际推动管理创新,千方百计确保人民群众的生命财产安全。2021年汛期,成功避让16起地质灾害,避免1618人伤亡,
教育戏剧是运用戏剧的表演元素培养学生综合能力的教育方式,具有综合性、社会性、实践性和趣味性。教育戏剧运用于小学教育符合小学教育教学改革的需要,符合小学生认知特点,有利于培养小学生整体素质。运用教育戏剧创设情境可以促进学生自我意识的形成,运用教育戏剧进行角色扮演能够激发学生社会意识的形成,运用教育戏剧打破课堂边界能够推动学生审美意识的形成。
焊接是设备机械制造和维修中不可或缺的基本环节,焊接过程已成为现代工业生产中的一种重要的金属加工工艺,直接制约着其他各个行业的发展。丹麦学者Jens系统地总结了焊接过程的影响因素,认为焊接领域影响着自动化技术、材料科学、环境、无损检测、机械与腐蚀和断裂力学等多门学科。吊兰作为吊装转运设备也应用在各行各业,焊接是吊兰的关键工序。从吊兰为例,从工件表面形貌、焊接效率和人工成本等各个方面对比了二保焊与普通
<正>一在这本《苏东坡新传》(以下简称《新传》)里,我看到了不一样的苏东坡。过去的传记给苏东坡贴上了一大堆标签——乐天派、作家、画家、书法家、工程师、假道学的反对派、佛教徒、士大夫、心肠慈悲的法官、诗人……这堆标签构成了一个简化的,甚至是脸谱化的苏东坡。连语文教材里的选篇也成了这一堆标签的注脚,如“大江东去,浪淘尽,千古风流人物”,
目的分析妊娠期糖尿病(gestationaldiabetesmellitus,GDM)的危险因素,建立预测模型并进行初步验证,为防治GDM的发生提供指导。方法随机抽取河北省5个市(县)妇幼计生服务中心,收集2020年6月—2022年6月符合纳入标准、信息完整的1738名孕妇资料,随机分为模型构建组和验证组。采用单因素分析和多因素logistic回归分析筛选GDM的独立危险因素,并拟合最佳预测模型。
教育戏剧是教育改革过程中对于教育方法的探索,也是戏剧界探索戏剧融入教育的成果,体现了教育与戏剧的融合。在教育戏剧发展进程中,先后出现了作为教学方法的教育戏剧、作为独立课程的教育戏剧以及整合了两种内涵取向的教育戏剧。