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二十世纪中期华语电影在马来西亚的放映
【出 处】
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南京艺术学院
【发表日期】
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2020年01期
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浅沟槽隔离(STI)化学机械抛光(CMP)是集成电路制造中的一项关键技术,要求有高的高密度等离子体二氧化硅/氮化硅(HDP/Si3N4)速率选择比(大于30:1),高的二氧化硅去除速率(3000?/min),同时低的氮化硅损失和较小的碟形坑缺陷等。论文主要针对二氧化硅/氮化硅去除速率选择性较差,抛光液的分散稳定性差,以及抛光后的碟形坑缺陷难以控制进行了研究,主要内容如下:(1)HDP/Si3N4速
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