结势垒控制肖特基整流管是一种新型的肖特基整流管,它借鉴了PN结管和肖特基整流管的优点,可制作成高反压、大电流、抗浪涌电流强及开关速度快的功率整流器件管。本论文的主要内容是设计制作反向击穿电压为300V,正向电流为10A的JBS整流器。通过JBS理论原理的分析,论文对JBS10A300V产品从结构、版图、外延材料、流片工艺参数、产品电参数要求、芯片封装外形、可靠性等方面进行了全面设计。产品在结构上采用两道场限环设计结构,可使耗尽层叠加以提高产品的击穿电压。光刻版图上采用圆形肖特基设计结构,可大大增加势垒金属的有效接触面积降低正向VF。在工艺上,考虑到高击穿电压的要求,设计不同硼退火工艺条件1100℃、1130℃、1180℃及1200℃,得到击穿电压数据分别为200-264V、280-340V、340-450V及结通的结果,最终选择退火温度1180℃工艺条件进行流片,击穿电压达到了设计要求。势垒金属采用NiPt5金属,兼顾了NiPt1和Ni金属的特性,可以得到最优的正向特性和反向特性。本论文完成了JBS10A300V产品设计,阐述了产品流片生产的环境、工艺生产的原理及流片基本参数条件。根据设计要求进行流片,进行了不同阶段电性测试,可靠性试验测试,产品电参数、可靠性水平满足设计要求,ESD水平从6-12KV提高到了15KV。电参数水平VF:0.781-0.856V@10A,IR:4-50.5uA@305V,VR:[email protected]符合预期的设计目标。最终给出了圆片图形及封装后产品外形图。