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新的光学和光电子薄膜材料并不局限于自然界中已有的材料。由于各种材料的光、电、磁及化学性质各不相同,混合两种或更多膜料制备的薄膜可能改变单一组分薄膜的许多特性,如折射率、消光系数、结构、应力、电阻系数及表面粗糙度等。TiO_2-Ta_2O_5薄膜是较新颖的光学薄膜,由均匀混合的两种化合物作为膜料研制而成,广泛应用于抗反射涂层、滤光片、DRAM电容元件、光催化等领域。研究TiO_2-Ta_2O_5薄膜的结构和性能具有较大的科学和应用价值。本文采用离子辅助沉积的方法,以不同配比的Ta_2O_5和