随着太赫兹波传感器和太赫兹波源的日益成熟,设计结构紧凑的光控或电控太赫兹调制器件来控制太赫兹光束传输,已成为太赫兹波领域的一个新研究热点。超材料由于其异常的电磁特性在固体物理学、材料科学、光学等领域内开始受到愈来愈广泛的青睐。在己报道的太赫兹调制器文章中,这种亚波长金属阵列结构调制技术是最具发展的前景的。在本文中,研究了几种亚波长金属阵列结构和半导体材料的太赫兹光谱特性。本文第一章首先介绍了课题的研究背景和研究意义。第二章详细地介绍了太赫兹时域光谱技术和光泵浦太赫兹技术。第三章分析了半导体材料在连续光源和脉冲光源照射下太赫兹波的透射特性,发现随着光泵浦功率的增加,太赫兹透过率不断降低,并且发现采用脉冲光源照射下的半导体材料的调制深度比采用连续光源的高。第四章主要研究了亚波长金属开口环谐振结构和金属光栅的太赫兹波透射特性,通过模拟和实验研究了单开口环、双开口环和田字形结构的太赫兹光谱特性；并对不同的开口环谐振结构进行了实验对比,结果发现开口环个数和位置的不同,影响了吸收峰峰值处的频率值,开口环结构的电容值越大,峰值频率越低,反之越高；研究了亚波长金属光栅在太赫兹波段的透射特性,实验结果显示：由于光栅的偏振特性,对电场方向垂直光栅方向的电磁波有透射特性,对电场方向平行于光栅方向的电磁波有阻碍作用；金属光栅的瑞利反常现象使频率在1.5THz处的太赫兹波透过率降低,出现了一个透射谷。第五章对论文工作进行了总结和展望。