瞬态电压抑制二极管(Transient Voltage Suppressor),简称TVS,是一种高效能的静电浪涌保护器件,在电路中起到重要的保护作用。随着手持设备的不断应用,静电保护器件得到广泛应用,特别是高速数据传输接口的发展,要求器件的电容值需要进一步降低。本文对TVS器件的国内外发展情况进行了介绍,特别针对SRV05-4器件进行了参数分析和工艺实现。本文介绍了软件仿真目前在集成电路中的发展状况。通过对常规容值TVS的性能,影响TVS容值的关键参数进行的分析,研究了低电容TVS产品的原理、结构,其中TVS的源区面积,掺杂浓度,体电阻是影响TVS击穿电压以及电容、浪涌能力的关键点。通过串联并联低电容二极管的结构设计实现了TVS低电容的优化。由于流片工艺复杂,本文对软件仿真在集成电路中的应用进行研究和介绍。借助软件仿真手段,通过版图设计软件对器件版图进行仿真以及验证;通过工艺和器件仿真软件对器件结构进行了工艺模拟,并得出了器件仿真结构图。通过软件网格的划分调整得到较真实PN结数据,为提高器件性能进一步用软件仿真对器件的电场、电流密度、电势分布等进行观测和分析,对器件性能优化提出了改进方案。最终完成了集成LCTVS器件的工艺实现。通过封装工艺,将独立TVS与集成LCTVS组合进行双芯片封装,最终实现了TVS浪涌能力的改进。最终实现一款5V,1.8PF,17A,8kv静电保护器件,其参数性能可以满足高速传输接口静电保护需要,并可以和国外同类进行替代。本文通过对静电保护器件的失效分析,原理分析,软件仿真,工艺验证,芯片制造,封装实现等过程,实现了对静电保护TVS器件电容的降低和浪涌能力的优化。具有较高的实用性。