【摘 要】
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该论文从化学气相沉积(CVD)技术的发展出发,研究了气溶胶CVD(AACVD)这一新颖CVD技术的发展与应用,AACVD是利用微米或亚微米级的液体小雾滴的迅速挥发分解,然后在加热的固体表
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该论文从化学气相沉积(CVD)技术的发展出发,研究了气溶胶CVD(AACVD)这一新颖CVD技术的发展与应用,AACVD是利用微米或亚微米级的液体小雾滴的迅速挥发分解,然后在加热的固体表面形成薄膜的,它不需要高真空,设备简单、成本低、生长速率快,是制备多组分氧化物薄膜(如超导材料,集成电路中的材料,燃料电池组件等)的优良技术.固体氧化物燃料电池(SOFC)具有发电效率高、燃料适应范围广、无污染、无腐蚀等优点,被誉为21世纪的绿色能源,而实现中温化是其商业化的必由之路,各组件的薄膜化又是其中温化的关键.该文利用AACVD制备了其中的关键材料:YSZ (Y<,2>O<,3>稳定的ZrO<,2>)、YDC(Y<,2>O<,3>掺杂的CeO<,2>)和GDC(Y<,2>O<,3>掺杂的CeO<,2>)电解质薄膜,突出展现了AACVD在这一领域的应用前景.同时,还研究了原料的选择、制备,AACVD设备的设计、组装,薄膜生长动力学,生长机制、形貌模型,薄膜性能测试等.以期使这一技术更加完整化、系统化,为其进一步的优化与改进打下基础.同时也为SOFC中薄膜组件的制备提供一条崭新的路径.
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