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随着大型超精密加工与装备制造业的发展,迫切需要利用双频激光干涉仪这种经典的精密测量工具来解决工业现场环境下的大尺寸、超精密测量问题,其相对测量准确度需求高达10~(-7)。然而在双频激光干涉仪的实际应用中,环境温度、工件温度变化带来的空气折射率漂移以及被测工件热线胀,都将对激光干涉仪的测量准确度带来较大影响,其中工件温度变化带来测量误差甚至达到10~(-5)/℃。为此,现场测量环境下的超精密测量必须对工件温度进行准确度高达0.01℃量级的温度监测并实现测量数据的实时补偿。本文阐述了国内外主要超精密测