激光与靶材的强烈相互作用产生高能量的超热电子逃逸，导致激光等离子体带微量的正电荷。本文深入分析研究了激光等离子体静电效应产生的机理，提出了一种无偏置电压的激光等离子体静电效应——靶材电势测试法，建立了该测试方法的低阶等效电路模型。本文应用无偏置电压靶材电势测试法，测量不同激光能量、不同靶材特征参量（材料、长度、截面直径）对靶材电势的影响，结合靶材的汽化热、汽化温度、等离子体电离度、等离子体激光吸收系数等因素，对靶材电势变化规律进行详细分析。 本文的研究结果表明，激光等离子体的静电效应可分为四个阶段：第一阶段内靶电势随超热电子的逃逸持续增大，时间约30ns；第二阶段内靶电势随激光等离子体衰减迅速下降，持续时间约100ns；第三阶段内靶电势随高温带电气团的扩散出现波动，持续时间约1μs；第四阶段内靶材上的剩余电荷通过测试电路放电，靶电势呈指数规律衰减。低阶等效电路模型的理论计算与测试结果吻合，激光等离子体的微量正电量大于10<8>e。 本论文的研究为激光熔蚀过程中激光等离子体静电效应机理及测量奠定了初步基础，为解决激光等离子体冲击波的能量转化问题做了铺垫。