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在真空度达到3×10~(-3)pa以上时，用真空蒸发技术在玻璃衬底上获得了ZnSe、CdSe、(Zn,Cd)Se三种类型的Ⅱ—Ⅵ族硒化物薄膜。为了改善其性能，我们在不同条件下对薄膜进行了热处理。通过X射线衍射仪、分光光度计等测试分析，研究了不同工艺条件对上述薄膜性能的影响以及热处理前后薄膜的结构、光学特性。 结果表明，经优化工艺后，我们得到三种性能稳定，结晶完善的典型Ⅱ—Ⅵ族硒化物薄膜。在室温下制备的ZnSe薄膜呈灰黑色和黑红色，透过率较低。热处理后，薄膜在近红外和可见光范