【摘 要】
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该文在全面分析国内外三维微力传感器的研究状况的基础上,针对微力传感器的特点,设计了力耦合作用比较小的三维微力传感器,并建立了微力传感器的数学模型及耦合方程.有限元分
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该文在全面分析国内外三维微力传感器的研究状况的基础上,针对微力传感器的特点,设计了力耦合作用比较小的三维微力传感器,并建立了微力传感器的数学模型及耦合方程.有限元分析结果证明了数学模型推导的正确性.文中针对微力传感器输出信号的特点,设计了微力检测桥式电路、高增益信号放大电路、零偏校正电路、滤波电路及基准电压电路等,给出了相应电路原理图、调试方法及计算公式,在此基础上,选用PCL-816信号采集卡进行A/D转换,给出了软件实现方法及程序流程图,从而实现了三维微力传感器的计算机数据采集与处理.最后,根据三维微力传感器的测量数据,对所研制的微力传感器进行了静态性能的分析,给出了一些指标,包括线性度、重复性、精确度、分辨率,计算了去耦系数矩阵,并对三维微力传感器进行了误差分析.
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