论文部分内容阅读
空间飞行器内有害微生物威胁航天员健康并腐蚀航天材料,亟需空间生物危害实时自动报警系统,而该系统的核心是荧光检测微系统。通用光电器件因体积大而不能嵌入芯片中,专用器件虽能体积缩微嵌入芯片,但灵敏度不够。这已是目前各国急求解决的生物芯片“瓶颈”。针对上述“瓶颈”问题,本文提出一种新型激光制造技术。该技术是基于光胶滴自由落到基面,从冲击变形到恢复浸润稳定状态的过程中,其顶冠形状会两次出现非球面交替变化的现象。此技术的加工过程是在实际的微系统工作面上动态捕获掺杂纳米石英颗粒光胶滴的形状,适时用匀束激