【摘 要】
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本论文在理论计算的基础上,设计了具有铝砷／镓砷(AlAs/GaAs)布拉格反射镜(DBR)结构的铝镓铟磷(AlGalnP)应变多量子阱(MQW)发光二极管(LED)结构,并利用先进的金属有机化合物化
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本论文在理论计算的基础上,设计了具有铝砷／镓砷(AlAs/GaAs)布拉格反射镜(DBR)结构的铝镓铟磷(AlGalnP)应变多量子阱(MQW)发光二极管(LED)结构,并利用先进的金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD-Metal Organic Chemical Vapor Deposition)外延设备,通过大量生产过程中的试验,优化了生长温度、应变量、DBR结构、外延层厚度、掺杂等条件,得到了发光强度强、均匀性好、光电转换效率高的625nm红光发光二极管(RLED)外延片。外延材料通过X射线双晶衍射(X-RD)、光荧光谱(PL)、电化学EC-V腐蚀、电子扫描显微镜(SEM)等测试手段进行表征,证明外延生长质量、掺杂、发光波长、材料生长厚度等都符合设计要求。外延片经过管芯工艺流程制备出芯片,通过电致发光谱,光强、电压等测试,220μm×220μm尺寸的芯片亮度大于160豪坎德拉(mcd),波长623±3nm,电压小于2.1V。本文还从规模化生产的角度实现了红光外延片的量产,亮度、波长、电压重复性、一致性良好,满足市场大量需求的显示屏应用。
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