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亚铁磁钴铁氧体(Co_(1?x)Fe_(2+x)O_4,CFO)具有较大磁晶各向异性,是自旋过滤和磁电耦合等领域的研究热点。我们通过磁控反应共溅射技术在不同氧分压下制备了CFO薄膜,并通过真空和有氧氛围退火控制薄膜的氧空位密度,研究了氧空位对CFO薄膜结构和磁性的影响;我们进一步制备了CFO厚度系列的CFO/La_(0.67)Sr_(0.33)MnO_3(CFO/LSMO)双层膜,并系统研究了其结构和磁性。CFO薄膜具有多晶结构且生成明显的颗粒。低氧分压下制备且真空退火的CFO薄膜具有较小的饱和磁化