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红外光谱检测可以实现实时、原位的物质成分定量检测,为生物医学领域的发展提供了一种高效的分析测试技术。本文着力于提升和发展红外光谱检测技术及仪器,通过硬件优化、数字优化和片上集成微型化,提高了红外光谱检测性能和灵活性,降低了红外光谱检测的成本,扩展了红外光谱检测在复杂场景中的应用范围。
本文的主要研究内容包括:
1.红外光谱检测系统的硬件优化:(ⅰ)光源调制优化,利用扫描振镜,将光源调制和多通道扫描检测结合,实现了非色散红外检测的共光路结构,提高了调制效率;(ⅱ)液体探头优化,采用一体成型的玻璃探头,提高了液体红外检测的通用性和可靠性;(ⅲ)干涉图采样优化,提出基于等时间间隔硬件过采样的方案,实现了更高的采样频率,保证了干涉图采样的准确性。
2.红外光谱检测性能的数字优化:针对傅里叶变换光谱仪(FTS)中光通量与光谱分辨率相互制约的难题,提出一种数字光阑光谱还原方法,基于FTS中大孔径Jacquinot光阑(J-Stop)影响光谱性能的物理机制,通过数值迭代计算,有效消除了傅里叶变换光谱中的谱峰加宽和偏移变化,提高了光谱检测的信噪比(SNR)、光谱分辨率和波数准确性。此外,数字光阑光谱还原方法可以扩展到光栅型光谱仪中。
3.红外光谱检测器件的片上集成微型化:针对空间外差型FTS(SH-FTS)硅基光谱检测器件的性能限制和应用局限,基于硅基光子技术,提出两种新型片上傅里叶变换光谱技术:(ⅰ)片上傅里叶变换光谱的双偏振检测技术,利用矩形波导的双折射效应中正交偏振态的传播常数差异,加倍单个马赫-曾德尔干涉仪(MZI)中的光程差采样点,缓解了光谱性能与器件尺寸的相互限制;(ⅱ)片上傅里叶变换光谱的偏振无关检测技术,引入偏振无关的二维光栅耦合器作为系统光束入口,将入射光中相互垂直的偏振成分均耦合到波导的横电(TE)模式,由常规的偏振相关MZI阵列进行TE偏振光谱检测,实现了偏振无关的光谱检测。
本文的主要创新点包括:
1.提出了数字J-Stop光谱还原方法,首次突破了FTS光谱检测中光通量与光谱分辨率相互制约的瓶颈,消除了大孔径光阑造成的光谱加宽,并实现了光谱SNR提高2倍;
2.利用正交偏振态在矩形波导中的传播常数差异,提出了片上傅里叶变换光谱的双偏振检测技术,减半了MZI的数量,压缩了硅基SH-FTS的器件尺寸25%;
3.引入二维光栅耦合器,发展了一种偏振无关的片上傅里叶变换光谱技术,通过MZI阵列的双向光谱检测,保持了偏振成分光谱检测的一致性,消除了矩形波导双折射效应对硅基SH-FTS的偏振约束。
本文的主要研究内容包括:
1.红外光谱检测系统的硬件优化:(ⅰ)光源调制优化,利用扫描振镜,将光源调制和多通道扫描检测结合,实现了非色散红外检测的共光路结构,提高了调制效率;(ⅱ)液体探头优化,采用一体成型的玻璃探头,提高了液体红外检测的通用性和可靠性;(ⅲ)干涉图采样优化,提出基于等时间间隔硬件过采样的方案,实现了更高的采样频率,保证了干涉图采样的准确性。
2.红外光谱检测性能的数字优化:针对傅里叶变换光谱仪(FTS)中光通量与光谱分辨率相互制约的难题,提出一种数字光阑光谱还原方法,基于FTS中大孔径Jacquinot光阑(J-Stop)影响光谱性能的物理机制,通过数值迭代计算,有效消除了傅里叶变换光谱中的谱峰加宽和偏移变化,提高了光谱检测的信噪比(SNR)、光谱分辨率和波数准确性。此外,数字光阑光谱还原方法可以扩展到光栅型光谱仪中。
3.红外光谱检测器件的片上集成微型化:针对空间外差型FTS(SH-FTS)硅基光谱检测器件的性能限制和应用局限,基于硅基光子技术,提出两种新型片上傅里叶变换光谱技术:(ⅰ)片上傅里叶变换光谱的双偏振检测技术,利用矩形波导的双折射效应中正交偏振态的传播常数差异,加倍单个马赫-曾德尔干涉仪(MZI)中的光程差采样点,缓解了光谱性能与器件尺寸的相互限制;(ⅱ)片上傅里叶变换光谱的偏振无关检测技术,引入偏振无关的二维光栅耦合器作为系统光束入口,将入射光中相互垂直的偏振成分均耦合到波导的横电(TE)模式,由常规的偏振相关MZI阵列进行TE偏振光谱检测,实现了偏振无关的光谱检测。
本文的主要创新点包括:
1.提出了数字J-Stop光谱还原方法,首次突破了FTS光谱检测中光通量与光谱分辨率相互制约的瓶颈,消除了大孔径光阑造成的光谱加宽,并实现了光谱SNR提高2倍;
2.利用正交偏振态在矩形波导中的传播常数差异,提出了片上傅里叶变换光谱的双偏振检测技术,减半了MZI的数量,压缩了硅基SH-FTS的器件尺寸25%;
3.引入二维光栅耦合器,发展了一种偏振无关的片上傅里叶变换光谱技术,通过MZI阵列的双向光谱检测,保持了偏振成分光谱检测的一致性,消除了矩形波导双折射效应对硅基SH-FTS的偏振约束。