MEMS技术近年来的快速发展,微机械电容式传感器的广泛使用,及微机械集成电路的研究问世,其微小电容及微小变化量的检测研究变得非常重要,本论文主要对微小电容检测原理及方法进行研究与实现。本文主要基于AD公司2005年3月发布的一款芯片AD7746实现微小电容的检测。根据微机械设备及微机械系统对微小电容现场检测与控制方便的需求,采用单片机控制及数码管显示的方式,实现了微小电容的精确测量及误差补偿设计。项目研究始于2005年10月,当时与AD7746相关的研究在国内属于空白。本文对AD7746芯片的内部原理和相关测试评估板进行了探索,通过对评估板的深入分析,研究出微小电容的A/D检测原理和D/A运算公式。设计出基于AD7746在单片机控制下的微小电容检测方案,确定了系统的性能指标。本文实现了微小电容检测系统的原理图设计、PCB设计、制板、装配、与软件编程和系统调试。进行了设计系统的应用测试与数据分析。本文在设计实现过程中,根据芯片多功能特性,还进行了微小电压的精确测量与温度测量等扩展性设计研究。同时为更好地适应现场,进行了系统的小型化设计与研究,完善了系统的功能任务。