【摘 要】
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压电陶瓷驱动器是一种理想的微位移驱动元件，被广泛应用于微定位、微操作等领域。但是，压电陶瓷驱动器同时也存在着迟滞、蠕变和位移非线性等不足，这使得对其控制变得困难。本文将压电陶瓷驱动器用于驱动三自由度精密定位平台，为提高平台的定位性能进行了如下研究。 在系统分析了压电陶瓷驱动器驱动机理的基础上，通过实验测试了P239.40型压电陶瓷驱动器的迟滞、蠕变等特性。为对压电陶瓷驱动器进行控制研究，设计
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压电陶瓷驱动器是一种理想的微位移驱动元件，被广泛应用于微定位、微操作等领域。但是，压电陶瓷驱动器同时也存在着迟滞、蠕变和位移非线性等不足，这使得对其控制变得困难。本文将压电陶瓷驱动器用于驱动三自由度精密定位平台，为提高平台的定位性能进行了如下研究。 在系统分析了压电陶瓷驱动器驱动机理的基础上，通过实验测试了P239.40型压电陶瓷驱动器的迟滞、蠕变等特性。为对压电陶瓷驱动器进行控制研究，设计了包括压电陶瓷驱动器、驱动器电源、微位移传感器、传感器信号调理模块、A／D和D／
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