自上世纪50年代末提出纳米科技的概念，伴随着一系列涉及纳米尺度的新概念、新材料、新技术的产生，纳米科学已经发展成为一门对社会生活产生重大影响的前沿科学。自旋电子学通过操纵电子的自旋，制成新型的磁电子器件。它建立在磁性体内多种交换作用的基础之上，这种相互作用的特征长度小至金属费米波长和原子间距(nm)的尺度。所以将铁磁材料作为器件应用时，要求对材料进行纳米尺度的加工和调制。因此，自旋电子学是纳米电子学的重要组成部分。而纳米材料的小尺寸效应、量子尺寸效应、表面效应等使得它往往具有大块材料所不具备的磁特性，为自旋电子材料的发展开辟了一个崭新的研究和应用领域。　　 CrO2是一种技术上非常重要的过渡金属二元氧化物铁磁材料。近年来，CrO2更由于其独特的自旋电子学性质而受到重视，在自旋电子学中具有重要的地位。　　 铁磁性铬氧化物纳米颗粒薄膜的低温合成对于磁电子器件的制备是具有重要意义的。但由于OrO2属铬氧化物的亚稳相，目前仍然缺乏制备富CrO2纳米结构薄膜的成熟方法。本次论文基于反应磁控等离子体气相聚集法制备铬氧化物纳米颗粒组装结构。利用TEM、SEM、AFM等手段对其结构和表面形态进行了观察。表明所获得的铬氧化物纳米颗粒组装薄膜是由均匀尺寸的纳米颗粒所组成。使用SEM、XRD、XPS、RAMAN光谱等手段对铬氧化物纳米团簇组装薄膜的成分进行了甄别，表明了制备的铬氧化物纳米薄膜是CrO2，Cr2O3以及Cr2O5的复合体。利用超导量子干涉仪(SQUID)对团簇沉积样品的磁化曲线以及磁化强度、磁化率-温度曲线进行测量。虽然薄膜的磁性包括了Cr2O3及Cr2O5这两个反铁磁性物质的贡献，但是在5K的低温下测得的磁化曲线具有明显的磁滞性，正是样品中所含CrO2成分铁磁性的体现，表明所制备的薄膜为以CrO2为主要成分的铁磁性铬氧化物纳米结构，并具有高的阻塞温度，在高达150K的温度下，样品仍能保持很明显的铁磁性。通过初步讨论基于我们的UHV-CBS系统形成具有铁磁性铬氧化物纳米颗粒组装薄膜的机制，认为在我们的团簇源中，金属靶表面大量Ar气的存在造成了靶表面附近缺氧的环境，引起了非化学计量比铬氧化物团簇的形成，当团簇进入富氧的冷凝室后得到充分氧化，最终形成了以CrO2为基本结构单位的铬氧化物，并且具有铁磁性质。