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                                为满足物联网和生物医疗技术的发展要求,电子产品不仅要具有优异的人体适用性,携带轻便,还要具有形状可变等特性,传统柔性互连仅能满足可弯曲的要求,不具有延展性,而基于无机电子材料的可延展柔性互连技术则非常适合上述应用。可延展柔性互连不仅具备传统无机电子的高性能和高可靠性,还具有优异的可伸缩和可弯曲的柔性特性,鉴于可延展柔性互连具有的众多优点,对其各项特性进行研究很有必要。目前对于可延展柔性互连的研究主要集中在制造工艺和增加其延展性上面,而对于其电学特性的研究也仅仅只是简单电路的实验结果,高频特性和延展形变对可延展柔性互连电学性能的影响研究还是一片空白,因此本文选取可延展柔性互连结构中典型的蛇形互连结构进行了仿真研究,具体研究内容如下所示:1.首先对传统互连、柔性互连、可延展柔性互连结构和工艺进行简单介绍,了解其区别,然后使用ANSYS对具有可延展性的蛇形互连结构进行建模,经过拉伸处理后得到不同拉伸位移下的形变模型。2.使用Q3D Extractor对形变后的模型进行寄生参数提取,主要包括直流电阻/直流电感、交流电阻/交流电感、耦合电感/电容等参数,分别仿真研究了上述参数随频率和延展过程形变位移的变化关系,并在此基础上,仿真分析了导线间距对耦合电感和耦合电容的影响。3.使用HFSS对形变后的模型进行S参数提取,分别对蛇形互连结构中回波损耗和插入损耗随形变位移和频率的变化情况进行仿真研究,还以U形、V形和本文所使用的蛇形互连结构为例,研究了互连线形状对回波损耗和插入损耗的影响。除此之外,还对耦合蛇形互连结构的近端串扰和远端串扰进行仿真,研究和分析了不同间距和不同形变情况下近端串扰和远端串扰随信号频率的变化关系。4.利用HFSS产生的S参数模型,导入Ansoft Designer中进行耦合蛇形互连结构的时域仿真分析,研究了两种典型情况即1GHz和10GHz信号频率下入射端口反射情况和耦合蛇形互连结构的传输性能,同时还还仿真研究了拉伸形变对时域特性的影响,最终对结果进行对比和汇总。本文通过仿真蛇形互连结构的电学参数,研究了延展过程中蛇形互连结构电学特性随频率的变化关系,分析了各电学参数受延展形变影响的大小,初步形成了可延展柔性互连结构电学特性仿真验证方法体系,为可延展柔性互连等效电路的理论建模提供重要支撑,对可延展柔性互连的设计和制造具有指导意义。