本文采用有限单元法数值模拟在表面扩散和蒸发—凝结两种机制下力、电诱发的金属材料内部晶内微裂纹的演化规律。首先，建立了应力场和曲率共同作用下金属材料内部晶内微裂纹的演化模型。在表面扩散和蒸发—凝结机制的经典理论及其弱解描述的基础上，得到了应力场和曲率作用下晶内微裂纹演化的有限元控制方程，并编制可模拟应力场和曲率共同作用下的二维晶内微裂纹演化的有限元程序，验证了该程序的可靠性和准确性。然后，对应力场和表面曲率共同作用下金属材料内部晶内微裂纹的演化进行了数值模拟。在可模拟表面扩散和蒸发—凝结机制控制下表面能、应变能诱发微结构演化的程序上，添加了可分析两种物质输运机制的比值对二维晶内裂纹演化影响的程序模块。详细讨论了微裂纹形态、应力场大小和两种扩散机制的竞争比值等因素对晶内微裂纹演化的影响规律。最后，对电场和表面曲率共同作用下金属材料内部微裂纹的演化进行了数值模拟。详细讨论了微裂纹形态、电场大小和两种物质输运机制的竞争比值等因素对微裂纹演化的影响规律。