近年来,太阳热能作为一种清洁的新能源收到了越来越多的关注,在太阳热能利用中的关键器件是集热器,而太阳能选择性吸收薄膜是集热器高效吸收太阳能的关键技术之一。由于太阳能选择性吸收薄膜的工作温度一般会在200℃以上,因此提高吸收薄膜的工作温度变得尤为重要。本文研究在中高温(200℃～500℃)下太阳能选择性吸收薄膜的吸收率α和发射率￡。本文研究了太阳能选择性吸收薄膜的吸收原理、膜系结构、材料选择和制备工艺。主要利用有效介质理论研究金属陶瓷薄膜的光学常数,进行了选择性吸收薄膜的膜系设计,直流磁控溅射技术制备选择性吸收薄膜。在用有效介质理论研究金属陶瓷时,讨论了当金属填充因子不同时Maxwell-Garnett理论和Bruggeman理论计算金属陶瓷的光学常数,并对两种材料复合金属陶瓷和三种材料复合金属陶瓷的光学常数进行了计算。利用TFC软件分别设计了金属陶瓷型和多层结构型选择性吸收薄膜的膜系,通过对吸收率α和发射率ε的计算表明,设计结果均达到预期效果。采用JGP500型高真空多功能磁控溅射设备,获得制备Al2O3和Mo单层膜的工艺参数,并通过椭偏仪测试了Mo和Al2O3两种材料的光学常数。制备了Mo-Al2O3六层结构型太阳能选择性吸收薄膜,经过测试和计算表明,该吸收薄膜在常温下的吸收率α≥95%,在300℃时发射率ε≤12%。