准光腔法测高温超导薄膜的表同电阻及其分布

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随着毫米波技术的发展,高温超导薄膜在毫米波波段的应用日益增多,而表面电阻是 设计高温超导电路的重要参数.这就迫切需要测量高温超导薄膜在毫米波波段的表面电阻及其分布.该文主要分析并用数学工具Matlab模拟了准光腔内存在的高斯波束的场和能量分布情况,计算了准光腔的谐振频率和束腰半径,推导了准光腔的Q值及高温超导薄膜Rs的计算 公式,调试通了用于测试系统的三维平台,制作了测试系统所需的部分微波器件,组建了微波毫米波测试系统,并用VC++编写了测试软件.应用测试系统和测试软件测试了部分金属的表面电阻Rs,其测试结果与理论值相比,偏差在+15ˉ+30i之间.测试重复性误差为±1.4i .测试结果表明,用准光腔法测试高温超导薄膜的表面电阻及其分布是可行的.此方法具有可测频率和Q值高、非损伤、可测分布及膜片安装方便等优点.
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