2. 您的位置
3. 首页
4. 学位论文
5. 基于变面积电容传感的大量程MEMS加速度计加工工艺研究

基于变面积电容传感的大量程MEMS加速度计加工工艺研究

来源 :华中科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lucas_f

【作 者】

：

朱涛 

【出 处】

：

华中科技大学

【发表日期】

：

2018年09期

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文 赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

共犯的限制从属性说之坚持——以共犯违法相对性的扩张为视角网络首发

期刊

电化学虚拟仪器中序列实验的设计与实现

学位

边疆地区汉族、彝族、德昂族初中生学习动机的对比研究——以云南省临沧市为例

学位

模拟编码结构光相位误差补偿方法研究

学位

高精度MEMS加速度计中欧姆接触工艺研究

学位

超导重力梯度仪检验质量精密电解匹配

学位

基于以太网技术的无人值守地磅系统设计

学位

超导重力仪器温度效应研究

学位

磁纳米粒子交流磁化率温度测量系统设计

学位

民族地区留守初中生自我效能感、应对方式及学业倦怠调查——以云南省楚雄州彩云中学为例

学位