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微空心阴极放电(MHCD)是在普通空心阴极放电的基础上提出的一种高气压下亚毫米级微放电技术。将MHCD 作为大体积辉光放电的外部电离源(即等离子体源),可以解决高气压下大体积辉光放电不稳定的问题。本文首先对微空心阴极放电基本原理的研究进展进行了综述,然后详细论述了微空心阴极维持辉光放电(MCSD)和放电等离子体源,以及MCSD 的放电参数和运行方式对产生大体积高压辉光放电等离子体源的影响; 最后,再对微空心阴极维持辉光放电的结构特点进行了详细介绍,并对其放电特性进行了实验讨论。