太赫兹波具有穿透性、低能性、相干性等特性,这使得太赫兹波在安检、医疗、通信等领域发挥着重要的作用。在应用太赫兹波技术解决实际问题时,太赫兹波功能器件是组成太赫兹波系统至关重要的部分。本论文基于回廊模微腔和光栅理论研究了太赫兹滤波器、太赫兹光开关以及太赫兹吸收体等太赫兹功能器件的特性,具体研究内容如下:1理论分析了回廊模微腔的结构参数(微腔半径、宽度和高度)、矩形波导结构参数(矩形波导宽度和高度)及耦合间距对太赫兹滤波器的影响,研究了基于矩形波导耦合的回廊模微腔结构的太赫兹滤波器,利用MODE SOLUTIONS软件对该结构进行了进一步的优化。仿真结果表明,太赫兹滤波器在2.4-2.6THz波段内能实现滤波率达95%以上的梳状窄带滤波功能,带宽为2GHz,频率间隔为30GHz。2根据由高阻硅材料设计的太赫兹滤波器,经过进一步的分析计算,通过337nm泵浦光使硅材料中产生自由载流子改变微腔材料的折射率,影响矩形波导与微腔结构的耦合效率,实现光控太赫兹光开关。该光控太赫兹光开关继承了太赫兹滤波器的简单结构。数值仿真结果显示,在2.4-2.6THz频段内,该太赫兹光开关在关断情况下,能关断2.41THz、2.44THz、2.5THz、2.56THz、2.59THz和2.65THz频点处95%以上的太赫兹辐射波,开关速度为0.6ns。3基于等效介质膜理论及多层减反膜原理设计了用于超宽带太赫兹吸收体的三层微结构光栅。用有限时域差分法分析了光栅周期、光栅宽度和深度对太赫兹吸收体反射系数的影响。数值分析结果表明,该太赫兹吸收体在低于3THz波段处,吸收率高于98%的带宽为1.3THz,吸收率高于95%的带宽达2.1THz。用严格耦合波理论对该三层光栅的高吸收现象进行了理论分析。进一步优化三层光栅微结构的参数,在0.6-6THz范围内实现了大于95%的太赫兹吸收。