KDP晶体表面固体残留物及缺陷图像处理系统研究与实现

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【摘要】

：

KDP(磷酸二氢钾,2 4KH PO)晶体因其优良的光学性能和易生长出大口径的单晶体等特点,在ICF(惯性约束核聚变)系统中应用广泛。随着科学技术的发展,ICF系统对KDP晶体的表面质量要求越来越高。单点金刚石切削和磁流变抛光后晶体表面常存在如固体残留物、划痕、切削纹理等瑕疵,表面瑕疵会严重影响KDP晶体的光学性能。而传统的表面质量定性检测方法不能量化KDP晶体加工后表面损伤信息。本文在阅读大量文

【作者】

：

张云鹏

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2016年01期

【关键词】

：

KDP晶体表面质量光学显微镜图像处理

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