本文利用中国高技术产业2000-2005年期间的各行业数据和省际数据,研究了高技术产业的全要素生产率的变化趋势和特征。使用前沿生产函数将全要素生产率分解为前沿技术进步和技术效率两个方面,探讨它们对全要素生产率的影响情况。从增长源泉角度讲,产品产出的增长是要素生产率提高与要素投入量增长的结果,而要素生产率的提高又归结于技术效率改进和技术进步的作用。本文首先阐述了技术效率是衡量技术能够多大程度地被利用的指标,而前沿生产函数是衡量技术效率的基准。然后论述随机前沿生产函数既考虑了生产者自身技术上的欠效率影响因素,又考虑了外界无法控制的随机因素对最大产出的影响,认为随机前沿生产模型在Panel data下,能够有效的估计技术效率。文章然后对随机前沿生产函数进行了推导,得出了前沿技术进步和技术效率的衡量方法。随后结合我国高技术产业发展情况,从高技术行业内和区域两个方面研究全要生产率的变化。分析得到2000-2005年间,大中型高技术企业因前沿技术进步推动生产率年平均提高14.83个百分点;因为相对前沿的技术效率差距拉大使得全要素生产率平均下降2.86个百分点。区域之间全要素生产率趋于收敛,西部地区由于后发优势技术进步较快,但同时利用效率较低。东部地区技术进步较慢,但技术效率较高。因此我们提出建议:对技术效率较低的企业应加强管理水平,深化制度改革,建立适应技术充分发挥的环境。对于前沿技术进步较低的行业则应该加强研发投入,实现技术创新的重大突破。