阵列涡流检测技术是近年来发展起来的一种新的电磁无损检测技术,在金属结构缺陷的定量检测和评估方面应用前景广阔。平面阵列式电磁传感器一致性好、响应速度快、灵敏度高,可广泛应用于装备关键部件微缺陷的检测,其多通道转移阻抗信息的准确提取是提高检测精度的关键。目前的阻抗分析仪可以实现单通道阻抗测量,但难以完成多通道阻抗的快速同步检测。因此,本文重点对平面阵列式电磁传感器转移阻抗测量技术进行了研究。本文首先阐述了阵列涡流检测技术以及阻抗测量技术的国内外研究现状和发展趋势,介绍了其基本原理。然后分析了平面阵列式电磁传感器工作原理和转移阻抗的特性,探讨了平面阵列式电磁传感器的理论、模型和测试方法,设计了微弱信号检测电路和高速同步数据采集电路,研究了整周期数字锁定检测技术,并采用基于FPGA的方法实现了数字锁定放大器,完成了多通道转移阻抗的精密测量。该方法能有效抑制噪声和干扰,并且不需要对参考信号采样就能测出转移阻抗的幅值、相位以及实部、虚部信息。在此基础上,本文建立了基于FPGA的转移阻抗测量系统,对工件缺陷进行了试验,并对测试数据进行了分析。实验结果表明,转移阻抗幅度和相位测量的重复精度分别达到了0.04%和0.02%,为微缺陷的定量检测奠定了基础。最后给出了全文的结论,并对本文有关的进一步工作提出了一些建议。