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Cu2ZnSnSe4薄膜是一种具有直接带隙的P型半导体材料,室温下禁带宽度为1.4~1.5eV,光吸收系数高达104cm-1,具有良好的光电特性,可以作为吸收层材料应用于薄膜太阳能电池中。本文对Cu2ZnSnSe4薄膜太阳能电池的理论分析、结构设计、材料研究和制备等方面做了如下工作:首先我们采用直流磁控溅射法制备背接触层,通过控制气压溅射双层Mo膜,利用这种方法制备出的Mo不仅与玻璃衬底有很好的附着力,而且还有较低的电阻率,符合作为背接触层的要求;其次我们采用化学水浴法制备CdS薄膜,通过优化水浴温