本文主要研究了在毫米波有源相控阵雷达的T/R 组件中有重要应用前景的铁电薄膜介质移相器。通过对本教研室已经提出的一种新型的分布电容式薄膜介质移相器的设计方法、加工工艺条件与实际测试情况的分析,改进介质移相器中不足的地方。这种新型分布电容式薄膜介质移相器的由共面波导高阻传输线和周期加载的平板BST 薄膜电容构成。结合该器件的特点,利用现有的高频电磁仿真软件进行了综合分析,再选择ANSOFT HFSS 来对器件进行结构仿真的同时,还选择ADS 来对器件进行系统仿真,研究了移相器各项结构参数、薄膜电性能参数对器件整体性能产生影响的规律,以此来辅助移相器的设计与加工。对移相器加工工艺进行了深入的研究并摸索出合适的工艺条件,最后完成器件的制作与测试。主要研究内容和结果包括: 1) 查找已经设计出的介质移相器中存在的不足之处,并对其提出改进方案。2) 利用HFSS 和ADS 两种软件对改进后的介质移相器进行仿真验证,并研究移相器各结构参数对器件整体性能的影响,进一步对其优化。3) 研究加工介质移相器过程中平板电容上电极的剥离工艺,摸索出了制备移相器的合适工艺条件。4) 对器件的测试结果进行比较和分析,找出测试中可能引入误差的一些问题。